CDM terpadu ketebalan & dénsitas gauge areal

Aplikasi

Prosés palapis: deteksi on-line fitur leutik éléktroda; fitur leutik umum tina éléktroda: libur kalaparan (euweuh leakage of collector ayeuna, bédana abu leutik kalawan aréa palapis normal, gagalna idéntifikasi CCD), scratch, ketebalan kontur wewengkon thinning, deteksi ketebalan AT9 jsb

Kirim surélék ka kami

Rincian produk

Tag produk

Prinsip pangukuran

Prinsip pangukuran dénsitas permukaan

Métode nyerep sinar-X/β

Prinsip pangukuran ketebalan

Korelasi & triangulasi laser

ciri tés teknis CDM

Skenario 1: Aya 2 mm lega libur / kakurangan dina beungeut éléktroda jeung hiji ujung kandel (garis biru ditémbongkeun saperti di handap). Nalika titik sinar nyaéta 40 mm, dampak tina bentuk data aslina diukur (garis oranyeu ditémbongkeun saperti di handap) Sigana leuwih leutik.

Skenario 2: data profil wewengkon thinning dinamis 0.1mm lebar data

fitur software

Parameter téknis

Ngaran	Indéks
Laju nyeken	0-18m / mnt
Frékuénsi sampling	Dénsitas permukaan: 200 kHz; kandel: 50 kHz
Kisaran pangukuran dénsitas permukaan	Dénsitas permukaan: 10 ~ 1000 g / m²; ketebalan: 0 ~ 3000 μm;
Pangulangan pangukuran akurasi	Kapadetan permukaan: 16s integral: ± 2σ: ≤ ± nilai sabenerna * 0.2‰ atawa ± 0.06g/m²; ± 3σ: ≤ ± nilai sabenerna * 0.25‰ atawa + 0.08g/m²; 4s integral: ± 2σ: ≤ ± nilai sabenerna * 0.4‰ atawa ± 0.12g/m²; ± 3σ: ≤ ± nilai sabenerna * 0,6 ‰ atawa ± 0,18g/m²;Kandel: Zona 10 mm: ± 3σ: ≤ ± 0,3μm; Zona 1 mm: ± 3σ: ≤ ± 0,5μm; Zona 0,1 mm: ± 3σ: ≤ ± 0,8μm;
Korélasi R2	Dénsitas permukaan> 99%; ketebalan > 98%;
Titik laser	25*1400μm
Kelas panyalindungan radiasi	Standar kaamanan nasional GB 18871-2002 (pangbebasan radiasi)
Kahirupan jasa radioaktif sumber	β-ray: 10,7 taun (Kr85 satengah hirup); X-ray: > 5 taun
Waktu réspon pangukuran	Kapadetan permukaan <1ms; ketebalan <0.1ms;
Gemblengna kakuatan	<3kW